该厂为8英尺晶圆生产的线生活设施的超软水系統，一天到晚行成含硅废液150吨。废液中虽无血本属，但硅含量高易积垢，且电阻功率率需达到18MΩ·cm方可中水回用。原先进行处理工学艺没有办法要求新颁布实施的《自动化制造业水破坏物释放标准规定》（GB39731-2020）特点释放最大限度。 工业废水部分特性 重要生态破坏物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗粒肥料硅（比表面积0.1-1μm） 特俗请求 ：TOC<10μg/L，硼含铁<5μg/L 水环境特征 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅无机化合物特性复杂化 加工生产技术流程步骤 信息化用"梯级膜离心分离+电去亚铁离子"搭档工艺技术： 微滤预加工 ：1μm卫浴陶瓷膜截拦大颗粒肥料硅，通量提升80LMH 阴阳离子传递环氧树脂 ：D201大孔硅胶粘合剂挑选性物理吸附硅酸分子式 两级RO设计 ：独一段收回率60%，其次段通过高脱硼膜元器件封装 EDI电去正离子 ：电流大小导热系数2A/m²，持继的还原多余阳离子 红外光谱杀菌的 ：254nm紫外光线服用量40mJ/cm² 技木闪光点 开拓专门用阻硅剂（无机胺类pp物），廷迟膜的污染寿命3倍 EDI板块革新流道设计，硅清除率增强至99.8% 线硅分析一下仪（測量条件0.1-500μg/L）实现目标深度贫困调整 正常运作实效 经第一方的检测： 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼量从8μg/L降到0.3μg/L 软件环保再生资源回产出率从原40%升降至68% 膜修改时期拉长至5年，年工作投资成本减少35%